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往复式真空泵系统常用的热传导真空计往复式真空泵系统常用的热传导真空计

热传导真空计是基于气体分子热传导能力在一定压力范围内与气体压力有关的原理而制成的。根据热丝温度测量方式的不同，它可分为电阻真空计和热偶真空计。
我们知道气体分子一直处于热运动状态，它的密度多少会影响到热传导的速率。而热传导真空计即是通过热丝与管壳间的气体热传导，引起热丝的温度变化来指示气体的压力。它具有结构简单、易制造易操作、可远距离连续测量全压力等优点，在真空测量中得到广泛应用。
螺杆真空泵厂家开头提到了热传导真空计包括电阻真空计与热偶真空计。电阻真空计也被称之为皮拉尼真空计，它是通过热丝电阻的变化来反映气体压力变化。结构上，真空计由金属或玻璃规管壳内封装电阻温度系数高的电阻丝绕制的圆柱螺旋形热丝，并用引线从两端引出规管，接测量线路。
热偶真空计则是借助于热电偶直接测量热丝温度变化：热丝和热电偶组成热偶规管，热电偶的热端与热丝相连，另一端作为冷端经引线引出管外接至测量热偶电势的毫伏表。测量中，热电偶产生的热电势就用于表征规管内的压力。
因为是通过热传导来实现，所以热传导真空计测量易受外界温度影响，安装场所要求不易受到辐射或对流传热；热丝具有一定的热惯性，压力变化引起的热丝温度变化会有延滞，反应相对没有弹性变形真空计等那么灵敏；同时它属于相对真空计，测量受气体种类影响，需要根据气体种类以及沾污等因素进行校准。测量范围上，电阻真空计一般介于10^4～10^-1Pa之间，而热偶真空计一般在10^2～10^-1Pa之间。
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