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椭圆偏振光谱仪UVISEL PLUS是一种无损无接触的光学测量，基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变，通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等，可测厚度范围为几埃至几十微米。此外，还可以测试材料的反射率及透过率。 

技术参数： 

• 光谱范围: 190-885nm（可扩展至2100nm） 

• 微光斑可选50μm-100μm-1mm 

• 探测器：分别针对紫外，可见和近红外提供优化的PMT和IGA探测器 

• 自动样品台尺寸：多种样品台可选 

• 自动量角器：变角范围40° - 90°，全自动调整，小步长0.01° 

主要特点： 

• 50KHz高频PEM相调制，测量光路中无运动部件 

• 具备薄膜所需的测量精度，厚膜所需的高光谱分辨率 

• 具有毫秒级快动态采集模式，可用于在线实时监测 

• 自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等多种附件 

• 配置灵活