TwisTorr 804 FS涡轮分子泵
产品简介
详细信息
安捷伦 800 L/s 涡轮分子泵 TwisTorr 804 FS 将 TwisTorr 拖动级技术和安捷伦悬浮轴承 (FS) 技术相结合，具有高性能、高可靠性及经济性。这款涡轮分子泵借助涡轮级与创新的 TwisTorr 拖动级之间的协同作用，可提供更高的真空性能。悬浮轴承确保低振动和低噪音，适用于对振动敏感的仪器和工作环境。
这款配备 ISO 200K、250K 和 CFF 10 英寸抽气口法兰的 800 L/s 涡轮分子泵适用于多种应用，包括研发、UHV 系统、核研究、离子注入器、表面分析、电子显微镜和低温技术。
安捷伦还提供 TwisTorr FS-OS 涡轮分子泵，为严苛条件下长期运行的学术、研究和其他应用特殊设计。
TwisTorr 804 FS 适用于一体式控制器或机架控制器。
| 抽速： | ISO200K-F | ISO250K-F | CFF10 |
| N2 He H2 Ar | 720 L/s 660 L/s 485 L/s 690 L/s | ||
| 气体通量 (*) | 风冷 （空气温度 25 °C） | 水冷 （水温 15 °C/室温 25 °C） | |
| N2 | 4.3 mbar L/s 255 SCCM | 6.1 mbar L/s 367 SCCM | |
| He | 7.9 mbar L/s 467 SCCM | 10.4 mbar L/s 615 SCCM | |
| Ar | 1.5 mbar L/s 89 SCCM | 3.3 mbar L/s 195 SCCM | |
| (*) 前级泵 11.6 m3/h | |||
| 压缩比与前级耐压* | |||
| N2 He H2 Ar | > 1E + 11 2E + 08 3E + 06 1E + 11 | 10 mbar 10 mbar 4 mbar 8.5 mbar | |
| (*) 前级耐压定义为，在水冷模式下，当涡轮泵仍能产生 100 的压缩比时的压力 | |||
| 采用推荐前级泵时的极限真空 | < 1 × 10-10 mbar (< 1 × 10-10 Torr) | ||
| 抽气口法兰 | ISO 200K，ISO 200F，ISO 250K， ISO 250F，CFF 10 英寸 | ||
| 前级管道法兰 | NW25 或 NW40 | ||
| 推荐的前级泵 | DS302 IDP10 IDP15 | ||
| 操作位置 | 任意位置 | ||
| 操作环境温度 | +5 °C 至 +35 °C | ||
| 润滑油 | 性油脂润滑 | ||
| 冷却要求 | |||
| 风冷 | 空气温度 +5 °C 至 35 °C | ||
| 水冷 | 水温由 +15 °C 至 +25 °C 水流速 100 L/h | ||
| 噪声声压级 （全速运行时距离 1 m 处） | 43 dB(A) |