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化工用真空泵机组在半导体制造业中的运用化工用真空泵机组在半导体制造业中的运用

真空泵机组在半导体制造业中有很多种不同的真空泵机组。我们把它们分成两类：初级泵和高级真空泵机组。初级泵有几种用途：在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托)；清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁)；为高级真空泵机组用来获得压力，范围10-3托到10-9托的。

新型晶片厂中使用的现代真空泵机组是干性的，意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。 要先用机械泵将系统抽至低真空，再接通扩散泵冷凝水.然后逐渐加热使油沸腾并正常回流后再启动油扩散泵。关闭油扩散泵时.需先切断加热器电源，待油停止沸腾后再关冷凝水，再关闭扩散泵前后两个活塞，接着将机械泵的抽气日通大气后才能停机械泵.通常在机械泵和油扩散泵之前安一冷阱，以免有机物、水汽等杂质进入机械泵，影响泵的工作性能。冷阱的冷却荆可按需要选用干冰、液氮等。 对玻璃真空系统的检漏，使用高频火花真空检漏仪较方便。它是利用低压强气体在高频电场中，发生感应放电时所产生的不同颜色。

化工用真空泵-珂勒曦螺杆真空泵，单极突破0.1pa极限真空，可长时间运行，并且针对国内高温差、高湿度、高粉尘环境做了针对性优化，更适应国内的各类工况环境，实际应用实现更低故障率，更低能耗，更高能效。广泛应用于电子光伏、包装行业、真空模拟、风洞实验和造纸与印刷等各种生产行业。