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整机规格

L1300mm*W1300mm*H2200﹢50/﹣30mm（包含FFU及报警指示灯等）

2

进出料方式

流水线全自动进出料

3

放电结构

真空容式辉光放电

4

处理温度

≤50℃

5

单次处理载板数

2片

6

载板尺寸

（170-270）*（65-85）*（1-5）mm

7

设备产能

理论值≥90载板/小时（依据plasma处理时间15秒计算）

8

净化防护

百级FFU净化过滤系统

特点：1、进料流水线运动模组采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动，有效保证精度，降低尘污；2、真空腔内置2条轨道，可一次处理2片物料， UPH可达90拼板/小时；3、所有运动机构均采用成熟运动方案，设备稳定性及故障率得以有效控制。

用 途：IC封装中引线框架上点胶装片、芯片键合及塑封等工艺前清洗

在线式真空等离子清洗机自动搬运物料的设计要求,与常规等离子清洗系统相比,降低了人工搬运过成,提高了设备自动化水平。