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如果在加工中能以原子级为单位去除被加工材料，即是加工的极限，从这一角度来定义，可以把接近于加工极限的加工技术称为超精密加工，也称纳米加工。

精密、超精密加工技术、纳米技术的应用引发了新的制造科学革命—微型化革命，主攻方向为微小机械(尺寸0.1～10mm)、微型机械(尺寸0.1～100 m)和纳米设计、制造与使用。