钛圆靶
产品简介
详细信息
中国牌号：TA1,TA2,TA3,TA9,TA10,TC4,TC11.
美国牌号：Gr1,Gr2,Gr3,Gr7,Gr11,Gr5.
中国标准：GB/T 16598,GB/T2965.
美国标准：ASTM F2113，ASTM F1512.
加工工艺：锻造，轧制。
表面：车光，倒角，表面清洁光滑，无起皮，气孔，裂纹等缺陷。
规格：φ100×40，φ98×40，φ95×45，φ90×40，φ85×35，φ65×40.
化学成分：
Grade | N | C | H | Fe | O | Al | V | Pb | Mo | Ni | Ti |
TA1/Gr1 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.2 | 0.18 | / | / | / | / | / | Balance |
TA2/Gr2 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.3 | 0.25 | / | / | / | / | / | Balance |
TA3/Gr3 | 0.05 | 0.08 | 0.015 | 0.3 | 0.35 | / | / | / | / | / | Balance |
TA4/Gr4 | 0.05 | 0.08 | 0.015 | 0.50 | 0.40 | / | / | / | / | / | Balance |
TC4/Gr5 | 0.05 | 0.08 | 0.015 | 0.4 | 0.2 | 5.5-6.75 | 3.5-4.5 | / | / | / | Balance |
TA9/Gr7 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.3 | 0.25 | / | / | 0.12-0.25 | / | / | Balance |
TA18/Gr9 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.25 | 0.15 | 2.5-3.5 | 2.0-3.0 | / | / | / | Balance |
主要应用：适用于溅射镀膜，在半导体芯片，MEMS传感器，光电器件，宽禁带半导体，石墨烯等行业领域广泛应用。