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WAP主动隔振系统

性能指标：

主动隔振系统出色的隔振效果：垂直方向上在10Hz时为-27dB

无触点调平机制可以改善隔振效果

控制箱带有三个比例阀

PID回路用于精密调平控制

无油设计，保证无泄漏

独立式工作台方案

极低的共振频率：小于1.7Hz

快速的稳定时间，通常为1- 5秒

主动隔振系统可以用来改善刚性工作台

WAP主动隔振系统具有便携、轻质、低剖面特性，可以作为灵敏台式装备和实验的振动控制方案。该系统包含四个气动隔振器，它们必须与一个恒定空气补给相连接，可以是一个或瓶装空气，此外它还包含一个带键盘电子控制箱。其它隔振器数量可按客户需求来定制。

如下图所示，控制箱包含了3个比例阀，每个分别控制一个主隔振器。第四个（附加的）隔振器是由3个主隔振支脚之一进行控制。这些比例阀的控制是通过一个PID控制环路实现的，它可以为调平系统提供反馈信号。这种电子传感系统不需要传统系统中阀门与面包板之间的机械联动装置，从而具有更好的隔振效果。通过控制箱上的键盘，可以进行手动调平或高

度调节。当参数都设定好后，隔振器会保持平台水平，之后的任何扰动都会被其自动校正。这些微型电子隔振基座直径只有110毫米（4.33英寸），高只有71毫米（2.8英寸），使其极其适合用于面包板和小型光学平台。

该隔振系统设计用于桌面、平台表面或其它类似工作表面。其隔振器可以独立使用，从而提供临时或可移动的隔振方案。此外，它们还可以用螺栓安装到一个英制或公制螺纹表面，用于更加长期的应用。这些隔振器还可以用来升级一个，使其具有有源隔振效果。

这些支撑座包含的隔振系统能够有效隔离工作表面的垂直方向和水平方向的振动，使其有效消除在3 －50 Hz的频率范围附近的振动，该范围是大部分常见大振幅振动源的振动频率范围。通过空气驱动的气动隔振系统，可以有效隔离面包板的振动。这种的设计不需要使用油基阻尼系统，从而不会发生泄漏，长时间使用后也不会降低效果。这些支撑座由一个控制箱进行控制，可以控制气动系统中的气压值来控制面包板的高度。如果面包板在垂直方向发生位移，控制箱可以根据需要改变每个隔振器的气压大小，从而让面包板回复到原来的高度。

适用设备：

★单晶硅拉晶炉、半导体检查装置、光学实验设备、纳米级测量测试设备等精密设备。

★光学、精密计量、精密测量、生物、医学、微电子、半导体等各个领域

规格说明：

a. 在全负载下

b. 重量小于66磅（30千克）也可以使用，但稳定时间、重复性和隔震效果有可能会受影响。

c. 稳定时间定义为当阀门开放到所有LED点亮的时间（在误差范围内）。该系统在此后2秒会关闭。

d. 稳定时间根据重量、压力、体型、中心质量和误差窗口的不同而发生变化。

e. 上述数据是对于整个负载范围［66 －462磅（30 －210千克）］内较小“敲击式”扰动提供的，负载平均分布。

f. 在36千克负载、600毫米 x 600毫米封装和20psi情况下测量。

g. 对于较大扰动，如当大重量负载（20千克或以上）被移动时，有可能会发生过载，这样会导致隔振支脚漏气。在这种情况下稳定时间小于1分钟。

为了防止系统振动或稳定时间过长，安装表面必须保证4.0毫米范围内是平整的。