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芯明天压电物镜定位器​

P72系列压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的，采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，物镜补偿量较小，具有超高聚焦 稳定性，物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动物镜头聚焦提高精度，可与多种高分辨率的显微镜配合使用。

芯明天压电物镜定位器特性;

• 行程110μm

• 承载0.2kg

• 毫秒级响应时间

• 闭环重复定位精度高

• 开环/闭环可选

典型应用

• 三维成像 • 干涉/计量

• 表面结构分析 • 共焦显微

• 生物科技 • 半导体测试

体积小巧、易于集成、高动态、直线性好

压电物镜定位器体积小巧、结构紧凑，可实现行程110μm的位移。多种螺纹牙连接器可选，易于与其 他光学显微镜等集成。台体采用柔性铰链机构，无摩擦且具有的分辨率。由于其空载谐振频率可达350Hz，且可带载200g负载 作高速精密运动，在光学扫描、共焦显微等领域得到广泛 的应用。可选择闭环版本，实现超高的定位精度。

螺纹适配器便于安装

P72物镜定位器与物镜之间通过适配器连接，将物镜快速锁定在 预期位置 。 多种螺纹 牙 可 选 ， 如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于与显 微镜集成安装。

P72压电物镜定位器技术参数：

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。