MPT-1U系列(一维U式物镜台)
产品简介
详细信息
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主要参数
MPT-1UN/RL010 MPT-1UN/RL025 MPT-1UN/RL050 MPT-1UN/RL100 运动自由度 X X X X 行程范围（μ m±10%） 10 25 50 100 位移分辨率（nm） 1 2.5 5 10 重复定位精度（nm） -/10 -/25 -/50 -/100 负载（Kg） 1 1 1 1 静电容量（μ F±10%） 4 6 4 6 运动方向上刚度（N/μm） 90 45 0.5 0.2 工作电压（V） 0～150 0～150 0～150 0～150 工作温度范围 (℃ ) -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 外形尺寸A×B×C（mm） 30×45×45 48×45×45 30×45×45 30×60×45 模型下载 IGS IGS IGS IGS
开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-3C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-1CR0150