MPT-1L系列(一维L式物镜台)
产品简介
详细信息
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主要参数
开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-3C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-1CR0150 MPT-1LN/RL060 MPT-1LN/RL100 MPT-1LN/RL140 运动自由度 Z Z Z 行程范围（μ m±10%） 60 100 140 位移分辨率（nm） 6 10 14 重复定位精度（nm） -/60 -/100 -/140 负载（Kg） 1 1 1 静电电容（uF±10%） 90 120 140 运动方向上刚度（N/μm±20%） 0.2 0.2 0.2 工作电压（V） 0～150 0～150 0～150 工作温度范围 (℃ ) -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 外形尺寸A（mm） 33 43 51 模型下载 IGS IGS IGS