光谱共焦三维轮廓测量仪
产品简介
详细信息
划痕检测传感器
在产品加工生产过程中，因为生产条件或其他因素影响，产品表面不可避免会产生各种划痕，比如刀纹。在非常注重产品外观的产品中，这种划痕无法让客户接受。痕检测传感器是一款专门主要用于在线检测表面划痕检有无和大小的装置。
采用共焦位移测量技术结合特殊计算方法，可以超高精度的实现细微划痕的在线检测。扫描速度可以达到50mm/s，线宽15mm，最小可测划痕50μm。
型号
CLS-2150
测量速度
≤50mm/s
测量时间
≤2秒/次
测量点间距
≥5μm
自由设置测量精度
±1μm
行程(X方向)
15mm-40mm（可选）
重复精度（X）
±0.5μm
量程(Z方向)
360μm/1000μm/3100μm
精度（Z）
±0.1μm/0.5μm/1μm
最小可测划痕宽度
0.05mm
采样频率
200Hz-4.5kHz
主机输入电压
90-264VAC
主机额定功率
400W
传感器输入
24VDC3A