tlyon000292 干式氦气检漏仪 UL1000 Fab
产品简介
详细信息
- 产品名称:干式氦气检漏仪 UL1000 Fab
- 订货号:tlyon000292
- 品牌名称:美国INFICON
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ULTRATEST™ 传感器技术
稳定性和灵敏度的新疆界,
检漏低达 10 -12 atm/css
The INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性,UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。
通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的真空结构,UL1000 Fab 提供的的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s。软件 I-CAL(智能泄漏率计算法)让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼,因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。
使用额外的 TC1000 测试盒配件,UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试,如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管(根据 MIL-STD 883,方法 1014)。
功能
- 15 级的宽测量范围
- 较短的抽气和响应时间
- 移动式全金属外壳,增加了便利性,具有可操作性
- I-CAL 确保了在所有测量范围中提供的泄漏响应时间
- 抑零功能和自动积分时间校正,可提供快速、可靠的测试结果
- 含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计,提供较高氦气抽气能力和高压缩比
- 旋转式显示器和用户界面允许简单、轻松控制装置以及与其进行交互
- 自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染
- 自动吹扫循环可确保清理并随时可进行测试
- 通过电子邮件进行软件更新
- 含两个灯丝离子源(3 年质保)的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本
- 内部校准用的内置测试漏孔确保了精确的测试结果
典型应用
- 对半导体加工工具执行维护作业,无论是否具有自有泵支持
- 需要较高抽气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用
- 在现有工具中安装前对部件执行检漏
- 工艺气体系统的检查和安装
- 内置软件菜单“自动测漏”功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试
规格
类型 Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab 氦气(真空模式)可检漏率 mbar•L/s <5E-12 氦气(真空模式)可检漏率 mbar•L/s <5E-12 氦气(吸枪模式)可检漏率 mbar•L/s 5E-8 MASSIVE 模式进气口压力 mbar 1000 GROSS 模式进气口压力 mbar 15 FINE 模式进气口压力 mbar 2 ULTRA 模式进气口压力 mbar 0.4 抽真空期间的抽气能力 m³/h > 30 at 50 Hz 抽真空期间的抽气能力 m³/h > 30 at 50 Hz GROSS 模式氦气抽气能力 L/s max. 8 FINE 模式氦气抽气能力 L/s 7 ULTRA 模式氦气抽气能力 L/s 2.5 ULTRA 模式氦气抽气能力 L/s 2.5 可检测质量数 2,3,4 amu 质谱仪扇形场 180° 灯丝离子源铱/氧化钇涂层 2 内置校准漏孔 mbar•L/s e-7 测试端口 DN 25 KF 1 可调触发器 2
接口 2 x USB, Ethernet / LAN 接口 2 x USB, Ethernet / LAN 图形记录器输出 V 2 x10 输入/输出 PLC compatible 输入/输出 Via I/O 1000 module 允许的环境温度(操作过程中) °C +10.....+40 保护类型 IP 20 重量 120 重量 120 重量 120 尺寸(长x宽x高) mm 1050x472x987 尺寸(长x宽x高) 1050x472x987 电源电压 V (ac) 230 (+-10% )50Hz 电源电压 V (ac) 230 (+-10% )50Hz 电源电压 V (ac) 230 (+-10% )50Hz 电源电压 V (ac) 230 (+-10% )50Hz 功耗 VA 1100 功耗 VA 1100 零件号
Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件号 明细 550-100A ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug 550-101A ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug 附件
Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab 零件号 明细 14005 SL200,UL1000/5000/Modul1000 用吸枪探头,4 米长 14022 RC1000 extension cable, 8 m 14090 LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000 551-000 Toolbox, detachable,for UL1000 551-001 Helium Bottle Holder for UL1000/5000 551-002 ESD Mat for UL1000/5000 551-005 TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band 551-010 遥控器 RC1000C,有线,带 4 米卷线 551-015 遥控器 RC1000WL,无线,包括无线发射机 551-020 RC1000WL 用无线发射机