自动泵PST-050CU/AU     日本 ULVAC

      溅射离子泵是一种用于制造超高真空的泵，用于许多和加速器中。ULVAC的acter泵是为了使单个溅射离子泵能够在10-10 Pa的数量级上制造超高真空。它们被设计用于开发在超高和真空下可改进真空度和优化磁场的新元件(acter元件)。

      【特征】

      10-9P的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶)

      通过惰性增强泵模型将泵送性能提高一倍(与ULVAC的常规泵相比)       

      在超高真空获得高抽运速度。

      在短时间内抽吸至超高真空。

      超高真空条件下的抽运特性(排放维持在超高真空状态)

      【应用】

      加速器

      电子显微镜

      分析器

      【规格】