自动泵PST-200CX2/200AX2
产品简介
详细信息
自动泵PST-200CX2/200AX2 日本 ULVAC
溅射离子泵是一种用于制造超高真空的泵，用于许多和加速器中。ULVAC的acter泵是为了使单个溅射离子泵能够在10-10 Pa的数量级上制造超高真空。它们被设计用于开发在超高和真空下可改进真空度和优化磁场的新元件(acter元件)。
【特征】
10-9P的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶)
通过惰性增强泵模型（AX2型）将泵送性能提高一倍(与ULVAC的常规泵相比)
在超高真空获得高抽运速度。
在短时间内抽吸至超高真空。
超高真空条件下的抽运特性(排放维持在超高真空状态)
【应用】
加速器
电子显微镜
分析器
【规格】
排放速度至1x10-7 Pa (重复排放速度) | N2: 0.20m3/s(CX2·ax2) Ar： 0.02m3/s(CX2) 0.105m3/s(Ax2) |
最终压力 | 10-10Pa order |
操作压力 | -3Pa(建议值) (工作压力：1.3 x10-2Pa) *(使用GST-07L控制器) |
体积 | 大约0.011m3 |
泵元件数 | CX2 cell(X2)，ax2 cell(X2) |
连接法兰模型 | UFC 203 |
外加电压 | DC+7.5kV |
标准烘焙温度 | 250℃ |
重量 | 约65kg（装有加热器，盖子) |
外型尺寸W×D×H | 296 x 361 x 376mm |
加热器所需功率 | 单相200 V，600 W左右. |
自动泵PST-200CX2/200AX2 日本 ULVAC
溅射离子泵是一种用于制造超高真空的泵，用于许多和加速器中。ULVAC的acter泵是为了使单个溅射离子泵能够在10-10 Pa的数量级上制造超高真空。它们被设计用于开发在超高和真空下可改进真空度和优化磁场的新元件(acter元件)。
【特征】
10-9P的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶)
通过惰性增强泵模型（AX2型）将泵送性能提高一倍(与ULVAC的常规泵相比)
在超高真空获得高抽运速度。
在短时间内抽吸至超高真空。
超高真空条件下的抽运特性(排放维持在超高真空状态)
【应用】
加速器
电子显微镜
分析器
【规格】
排放速度至1x10-7 Pa (重复排放速度) | N2: 0.20m3/s(CX2·ax2) Ar： 0.02m3/s(CX2) 0.105m3/s(Ax2) |
最终压力 | 10-10Pa order |
操作压力 | -3Pa(建议值) (工作压力：1.3 x10-2Pa) *(使用GST-07L控制器) |
体积 | 大约0.011m3 |
泵元件数 | CX2 cell(X2)，ax2 cell(X2) |
连接法兰模型 | UFC 203 |
外加电压 | DC+7.5kV |
标准烘焙温度 | 250℃ |
重量 | 约65kg（装有加热器，盖子) |
外型尺寸W×D×H | 296 x 361 x 376mm |
加热器所需功率 | 单相200 V，600 W左右. |