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VPM-010/VPM-030/VPM-050 ULVAC罗茨泵排气机组

供应商：
安捷来国际股份（香港）有限公司
企业类型：
其他

产品简介

ULVAC罗茨泵排气机组VPM-010极限压力8

详细信息

ULVAC罗茨泵排气机组



VPM-010

极限压力

8.0X10-2(使用液氮时)

排气速度

10m3/h
（at1.3×101Pa）

排气系统

●罗茨泵
（MBS-010）10m3/h
●油旋片真空泵
（GVD-050A）50L/min
●漏阀
●真空计接口
　 (18φ传感器用)

电源

100V１φ0.75kVA

重量

26kg

外形尺寸

430mm(长)×250mm(宽)×523mm(高)

选购件

1．油雾过滤器
（OMT-050A）
*请根据用途挑选选购件



VPM-030

极限压力

6.0X10-2(使用液氮时)

排气速度

30m3/h
（at1.3×101Pa）

排气系统

●罗茨泵
（MBS-030）30m3/h
●油旋片真空泵
（GLD-136C）135L/min
●漏阀
●真空计接口
　 (18φ传感器用)

电源

100V１φ1.5kVA

重量

43kg

外形尺寸

633mm(长)×250mm(宽)×651mm(高)

选购件

1．油雾过滤器
（OMT-200A）
2．排气口过滤器
（OMI-200）
*请根据用途挑选选购件



VPM-050

极限压力

6.0X10-2(使用液氮时)

排气速度

50m3/h
（at1.3×101Pa）

排气系统

●罗茨泵
（MBS-050）50m3/h
●油旋片真空泵
（GLD-201B）200L/min
●漏阀
●真空计接口
　 (18φ传感器用)

电源

100V１φ1.5kVA

重量

49kg

外形尺寸

643�mm(长)×250�mm(宽)×689mm(高)

选购件

1．油雾过滤器
（OMT-200A）
2．排气口过滤器
（OMI-200）
*请根据用途挑选选购件


VPM-010