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莱峰科技

阀门配件 /卡套内螺纹直通接头

我们不断的创新只为让您满足！

超长耐用轻便简洁操作简单放心选择

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不受温度压力的影响如何控制？

特点

• 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%
• 能够根据命令变化迅速进行流量响应并且过冲/下冲可忽略不计
• 流量范围宽 - 从3 sccm 一直到3000 slm
• 耐高压等级 - 高达 10MPA
• 可拆卸式流量传感器
• 不受安装角度影响
• 能和其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容
• 电驱动阀超调
• 耐化学腐蚀阀门

☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。

耐用

耐腐

☆主体采用不锈钢（304或316L）结构，气密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。

☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。

稳定

精确计量

安装便捷

☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。

☆配合流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。

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环保

半岛体

微电子工艺设备

医药

科研院所

精密浓度传感器工艺

特种材料学科

化学化工

食品保鲜

用于对气体质量流量进行精密测量和控制，具有精度高，稳定性好，可靠性高，安装简单，操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

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编号	项目	LF420-SC	LF420-SM
1	流量规格	（5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10,20,30）L/min
2	阀门类型	电磁调节阀
3	阀门状态	常闭
4	准确度	±1.0%F.S(≤30SLM) ±1.5%F.S(＞30SLM)
5	线性	±0.5%F.S
6	重复精度	±0.2%F.S
7	响应时间	≤2秒
8	工作压差	（50～500）kPa; （100～300）kPa(10～10L/min)
9	耐压	3MPa; 10MPa
10	环境温度	（5～45）℃，可选（-20～80）℃
11	材料	不锈钢304或316L
12	密封材料	Viton®， EPDM，金属密封或其他由用户
13	漏率	1×10-7Pa.m3/s	1×10-9Pa.m3/s
14	接头	Φ6mm～Φ10mm, 1/8”…3/4”。或其他
15	模拟信号	（0…5）V （4…20mA）
16	数字信号	RS232/485 Modbus-RTU协议
17	供电电源	+15…24VD或±15VDC

机械连接

故障判断和处理一览表

序号	故障现象	可能原因	检查及处理方法
1	无气流流过输出电压0V	1.1 阀控开关关闭	确认阀控开关，在“阀控”或“清洗”位
		1.2 无设定信号	检查“内外”开关的状态，设定电位器。测量设定电压。
		1.3 气路不通或气压差小	检查气源压力、气路通畅、有无泄漏。
		1.4 过滤器堵塞	更换过滤器
		1.5 控制器内部故障	检查是否有阀电压，无阀电压，修理电路板，有阀电压，换阀。
		1.6 内部通道故障	检查通道
2	无气流，输出电压不为零	2.1 零点偏差	断开外调零，调整调零电位器
		2.2 电源供电故障	测量控制器插头处±电源对零电压值，
		2.3 线路故障	检查线路有无开路，短连及错误。
		2.4 控制器内电路故障	更换线路板或传感器
3	有气流，能控制，无流量输出电压	3.1 流量信号线路不通	检查接线，测量流量信号对零电压。
		3.2 显示仪故障	测量显示仪插头处流量信号对零电压。如有电压，则显示仪故障。
		3.3 控制器内电路故障	测量控制器插头处流量信号对零电压。如无电压，则控制器内电路故障。
4	有气流，有显示，不能控制	4.1 地电平不正常	检查所有地线是否正确连接，有无开路。
		4.2 设定信号不能调节	测量设定信号能否调节，是否接线错误或故障。
		4.3 零点严重偏差	断开外调零，关闭调零
		4.4 强电磁干扰	在无干扰环境测试应正常。改善电磁干扰。
		4.5 控制器电路故障	更换电路板
5	阀有较大漏气	5.1 零点偏差	断开外调零，调整调零电位器为零或略微正偏。
		5.2 设定电压不能到零	测量设定电压是否到零。可能设定电位器损坏。
		5.3 关闭信号故障	分别打“阀控”和“关闭”，测量其电压是否正常。
		5.4 出入口气压差太大	减小气压差
		5.5 阀门污染	清洗阀门，更换密封件
		5.6 控制器内部故障	更换电路板或修整电磁阀
6	气流控制不稳定	6.1 气源压力不稳	稳定气源压力，出入口压差在规定之内。
		6.2 气路内阻过大	畅通管道，大流量要加粗管道，提高气源供气能力。
		6.3 设定信号不稳	用示波器测量设定信号的稳定性，并测量±电源对零电压值和稳定性。
		6.4 外调零信号不稳	断开外调零信号
		6.5 控制器内故障	更换线路板，清洗通道，维修电磁阀
7	有气流，无显示。不能调控制	7.1 传感器故障	7.1 传感器故障修理传感器及线路，清洗传感器通道。
8	高频干扰流量控制	8.1 供电系统地线、零线连接或机壳接地有问题	检查接地或绝缘隔离，接地系统注意一点接地。
		8.2 信号电平连接点问题	检查信号及零电平连接线点，杜绝线路干扰串入。
		8.3 空间电磁场干扰	远离干扰源及屏蔽隔离.
9	流量控制不正常	9.1 零点偏差	断开外调零，调整调零电位器
		9.2 电源供电故障	测量控制器插头处±电源对零电压值，
		9.3 气路或气压差不正常	检查气源压力及压差，气路有无堵塞、污染，有无泄漏。
		9.4 设定信号不正常	测量设定信号电压值。
		9.5 控制器内部故障	更换传感器，电路
10	实际气流值与显示值偏差过大	10.1 控制器与显示量程或单位不匹配	匹配控制器与显示仪。显示仪设定和显示电压范围是否为（0…5）V或（4…20mA）
		10.2 零点偏差	调整调零电位器
		10.3 气源或气压差不正常	检查气源压力，出入口气压差。
		10.4 控制器污染	清洗传感器通道
11	无气流，零点不稳或慢漂移	11.1 外调零信号不稳	断开外调零
11	无气流，零点不稳或慢漂移	11.2 控制器内部故障	维修或更换传感器及电路

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