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一、可以测试的硅材料类型

图1-1 硅晶棒晶锭 图1-2 多晶硅片 图1-3 单晶硅片

图1-4普通硅片 图 1-4 硅块料

二、仪器配件选配方案

   硅材料电阻率、方阻测试方案选配核心的原则，一是要选择专门测试硅材料的钨针探头，耐磨性好，使

用时间长，二是要知道硅材料的电阻率范围，以便选配我公司合适的四探针测试仪。
   硅材料电阻率测试的方案选配分三个方面：探头的选配、仪器的选配、测试台的选配。任意三件套组成
可以构成不同特色的方案，或侧重价格、或侧重技术精度、或适用场合或综合考虑。

   2.1 探头的选配：由于硅材料是硬度高，表面一般较粗糙，甚至有影响测试的氧化层等，所以硅材料测试

探头选配原则是耐磨耐用，要有一定穿透性，推荐使用ST2253-F01型碳化钨针四探针探头。

如图2-1 

图 2-1 ST2253-F01 碳化钨针探头

   市场上也有钢针的，但是耐用寿命不如碳化钨针。我们苏州晶格只有钨针的。测试探头有台式的可以配合在任
意一款测试台上。图示为SZT-C型快速恒压四探针测试台，也有手持式的，适合手持式测试的。

图2-2 SZT-C测试台

2.2 四探针测试仪选配。

四探针测试仪选配的基本原则是材料电阻率或方阻的测试范围、测试精度，一般测试范围不算大的可
以选M-3手持式，如果范围测试大一点的可以选择台式的ST2258C，带PC软件的可以选择ST2253，如果想测
试精度更好，更准一点的可以选择双电测ST2263，这款也带电脑PC软件的。这三款可以自由选配，如下图
所示

M-3手持式四探针测试

测试范围、分辨率

  电  阻：  0.010Ω   ～  50.00kΩ,   分辨率0.001Ω ～ 10 Ω
 电 阻 率：  0.010Ω-cm ～ 20.00kΩ-cm， 分辨率0.001Ω ～ 10 Ω-cm
 方块电阻：  0.050Ω/□ ～ 100.00kΩ/□ 分辨率0.001Ω ～ 10 Ω/□

量程划分及误差等级

M-3手持式四探针仪器 如下图

     M-3手持式是款充电式,里面是五个量程的，直接拿在手上就可以进行测试了，在车间
或出差方便携带。

台式ST2258C四探针测试仪

测试范围、分辨率

  电   阻：10.0×10-6 ～ 200.0×10∧3Ω,   分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×10∧3  Ω
      （1.0×10-6 ～ 20.00×10∧3  Ω,    分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×10∧3 Ω）
  电 阻 率：10.0×10-6 ～ 200.0×10∧3 Ω-cm  分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×10∧3  Ω-cm
      （1.0×10-6 ～ 20.00×10∧3 Ω-cm   分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×10∧3 Ω-cm）
  方块电阻：50.0×10-6 ～ 900.0×10∧3 Ω/□  分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×10∧3  Ω/□ 
     （5.0×10-6 ～ 100.0×10∧3 Ω/□   分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×10∧3  Ω/□）

量程划分及误差等级

台式ST2258C是款测试范围大一点，是八档宽量程的，手动/自动量程，带产品分类功能，比
M-3手持式多几个量程。不带电脑pc测试软件的，手工记录数据。

ST2258C

台式ST2253四探针测试仪

测试范围、分辨率

  电  阻：1×10-4～2×10∧5 Ω   ，  分辨率：1×10-5～1×10∧2 Ω
  电阻率：1×10-4～2×10∧5 Ω-cm，  分辨率：1×10-5～1×10∧2 Ω-cm
  方  阻：5×10-4～1×10∧6 Ω/□，  分辨率：5×10-5～1×10∧2 Ω/□
量程划分及误差

ST2253测试范围和ST2258C是一样的,也是八档宽量程的。但ST2253是带电脑PC软件的，能够
方便的记录数据和储存数据。

台式ST2263四探针测试仪

测试范围、分辨率

   电阻率：1×10-4～2×10∧5 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×10∧2 Ω-cm
   方  阻：5×10-4～1×10∧6 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×10∧2 Ω/□
   电  阻：1×10-5～2×10∧5 Ω   ，分辨率：1×10-6～1×10∧2 Ω

量程划分及误差等级

台式ST2263如下图 所示

台式ST2263这款是双电测的，误差小，测试更精准，带电脑PC软件

2.3 硅材料测试四探针测试台选配

   一般测试台可以选配我公司手动式的SZT-C，上下压力可以手动调节，SZT-A或电动SZT-B型的都
可以选择使用。

SZT-C SZT-A SZT-B