百分零部件网

登录

机电五金泵罗茨泵

NB100A ULVAC NB罗茨泵系列NB100A

供应商：
安捷来国际股份（香港）有限公司
企业类型：
其他

产品简介

ULVACNB罗茨泵系列NB100A特长和用途技术参数表抽气速率曲线尺寸图罗茨泵与油旋片真空泵、水环泵组合用，可在压力1.3103~1.310-1Pa范围内提高抽气速率

详细信息

  • ULVAC NB罗茨泵系列NB100A
  • 特长和用途
  • 技术参数表
  • 抽气速率曲线
  • 尺寸图

罗茨泵与油旋片真空泵、水环泵组合用，可在压力1.3×103~1.3×10-1Pa范围内提高抽气速率。NB系列罗茨泵是专为洁净度要求较高的场合而设计的。

特长
结净的真空
腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运转
选用比标准电机容量大上等的电机，即可实现在高吸入压强下的运转。

用途
照明、电子、光学、半导体
镀膜、溅射、离子镀、液晶注入
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉
分析仪器、检漏设备，CO2激光设备

机 型
NB100A
NB300A
NB600A
NB1200A
项 目
抽气速率*3
m3/h（L/min）
50Hz
95(1580)
280(4670)
500(8330)
1000(16667)
60Hz
115(1920)
330(5500)
600(10000)
1200(20000)
*大吸入压力 Pa
(连续运转时)
50Hz
1.3×103
1.2×103
1.3×103
60Hz
1.3×103
9.3×102
1.1×103
*大允许压力差 Pa
(排出压力-吸入压力)
50Hz
8.0×103
4.0×103
7.3×103
60Hz
6.7×103
3.3×103
6.0×103
极限压力 Pa*1
4.0×10‐1
6.7×10‐1
标准粗抽泵
GLD-N280
VDN301
VDN401
VSN1501
VSN2401
VSN1501
VSN2401
电 机
kW (极) *2 *4
0.4（2）
0.75（2）
2.2（2）
3.7(2)
V-Hz
380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz
使 用 油
ULVOIL® R-4
所需油量 L
0.35
0.70
1.50
1.90
冷却水量 L/min*6
空 冷
2 *5
2
3
进水压力 MPa
－
0.3
进出水压差 MPa
－
0.05
0.1
重 量 kg
24
49
77.5
110
吸气口径 (JIS B 2290)
相当 VG50
相当 VG80
相当VG80
相当VG100
排气口径 (JIS B 2290)
相当VF50
相当VF80
相当VF80
相当VF80

*1 用皮拉尼真空计测量的值，如用麦氏真空计测量，则为4.0×10-2Pa（3.0×10-4Torr），而NB1200A则为6.7×10-2Pa（5.0×10-4Torr）。
*2 电源为AC380V、50Hz、三相。
*3 随粗抽泵的性能而变化，表中为标准泵的组合的数据。
*4 NB300A、NB600A、NB1200A可分别选购1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量电机。
*5 对于530Pa（4Torr）以下可用空冷，但530Pa(4Torr)以上进行连续运转必须用水冷。
*6 冷却水温为5～30℃。

ULVAC NB罗茨泵系列NB100A

ULVAC NB罗茨泵系列NB100A