Transpector MPS 残余气体分析仪
产品简介
详细信息
Transpector MPS 残余气体分析仪
气体分析标准
为一般真空应用带来性能和非凡价值
随着制造技术的进步和质量标准的变更，了解相关过程和保持产品质量比以往任何时候都显得更为重要。Transpector
MPS 能够通过过程条件监控、污染检测和泄露检查，帮助您优化过程。Transpector MPS 为客户提供了 Transpector 品牌可靠的、价值非凡的
RGA 性能。
Transpector MPS
提供 100 amu 和 200 amu 型号，使您能够灵活地执行一般泄露检测、真空诊断和碳氢化合物分析等各种功能。此多功能性使 Transpector MPS
成为真空炉、热处理和真空涂层应用的理想选择。
功能
- 双丝极
- 可现场更换电子倍增器
- 可现场更换阳极、阴极和反射极丝极组件
- 可调换传感器和电子元件
- TCP/IP 以太网连接
- 较短的传感器可降低安装占地面积
- 九个数量级的动态量程
- 模拟扫描和所选峰值的 3 ms 每点数据率
- <1.5E-14 Torr 的 MDPP
- 传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
- 符合 RoHS 标准
规格
| 类型 | MPS100F | MPS100M | MPS200F | MPS200M | |
|---|---|---|---|---|---|
| 传感器长度 | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | |
| 质量范围 | 100 amu | 100 amu | 200 amu | 200 amu | |
| 检测器类型 | FC | EM | FC | EM | |
| 灵敏度 (FC) | 3E-4 amps/Torr | 3E-4 amps/Torr | 3E-4 amps/Torr | 3E-4 amps/Torr | |
| 灵敏度 (EM) | NA | 500 amps/Torr | NA | 500 amps/Torr | |
| 最小可检测分压 | 2.6E-12 Torr | 1.5E-14 Torr | 2.6E-12 Torr | 1.5E-14 Torr | |
| 传感器工作温度(FC) | 200 °C | NA | 200 °C | NA | |
| 传感器工作温度(EM) | NA | 150 °C | NA | 150 °C | |
| 丝极类型选件 | Dual Y2O3/Ir filaments | Dual Y2O3/Ir filaments | Dual Y2O3/Ir filaments | Dual Y2O3/Ir filaments | |
| 分辨率 (1) | <1 amu Wide | <1 amu Wide | <1 amu Wide | <1 amu Wide | |
| 温度系数 (2) | <1% per °C | <1% per °C | <1% per °C | <1% per °C | |
| 每点数据率 | 3 ms | 3 ms | 3 ms | 3 ms | |
| 零冲击（位于质量 2） | <100 ppm | <100 ppm | <100 ppm | <100 ppm | |
| 工作压力 | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | |
| 烘烤温度 | 300 °C | 300 °C | 300 °C | 300 °C | |
| 功率输入 | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | |
(1) 位于峰值高度的 10%
(2) 时长 8 小时，半小时预热时间；仅适用于 FC 模式