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丝网及制品金属丝、绳钨丝

SLWS2200-30 真空钨丝炉

供应商:
东莞燕园半导体科技有限公司
企业类型:
其他

产品简介

简单介绍 本设备为周期作业式,内部不含碳,避免了碳污染的问题。主要用于陶瓷(如透明陶瓷烧结)、钨电极等在高真空下进行烧结及脱气处理,也可适用于钨钼制品的真空烧结。采用立式炉体,分炉盖、炉体、炉底、加热元件、金属反射屏、真空系统及电控系统等部分。炉体外型美观,借鉴设计理念,设计出此高温炉,发热元件采用三相钨网加热,新型结构使用寿命长,发热体变形小,还特别节能。真空系统为油扩散泵+机械泵,如采用分子泵+直联式机械泵极限真空可达8x10-5PA。

详细信息

设备主要途
真空钨丝炉是用钨丝或钨网作发热元件的真空电阻炉,供金属化合物、陶瓷.无机化合物等在真空或保护气氛中烧结制品,也可用于金属材料的热处理。主要应用于电容、钽材等金属及由难熔金属组成的合金材料、陶瓷材料碳化硅及氮化硅的高温烧结、也可以供金属材料在高真空条件下的高温热处理或贵金属材料的除气处理。

设备主要结构介绍
1、炉体:双层304不锈钢水冷结构,并经精密抛光,有利于缩短抽气时间,且便于清洁;
2、炉盖:双层水冷的结构,内外壁均为304并经精密抛光处理,中间通冷却水。
3、加热保温及测温系统:加热器采用节能型的钨网结构,与水冷电极连接,并由电炉控制系统三相供电经过变压器降压后用铜牌连接到三个引出水冷电极,形成一一个控制回路,耗电少、结构新颖。炉內四周、顶部及底部的保温隔热屏均采用钨片,钼片及不锈钢支架组成,经过加工分别制作成整体的保温隔热系统。测温采用热电偶和双比色红外测温仪并实现自动切换,可控硅控温,配置有PID功能仪表,数显表,具有超温声光报警功能,也可选用PLC触摸屏自动控制,并保留历史数据,便于分析烧结过程。
4、真空系统:由分子泵、机械泵配电磁压差阀(防止因突然停电、机械泵油倒灌)充气阀、放气阀、真空蝶阀、真空压力表(士Pa)波纹管、真空管路和支架等组成。
5、充气系统:由各种管道及阀门组成,并配有电磁放气阀、压力传感器,当炉内压力高于安全值时会自动放气,充气管路上装有针阀,可控制充气量,用于烧结工艺所需充氩气、氮气的气氛要求;
6、水冷系统:由各种阀管道相关装置组成且设有断水声光报警自动切断加热源或功能。
7、充气装置:主要由充气阀、流量计、充气管道等组成,用于熔炼工艺所需充氩气、氮气的气氛要求;
8、控制系统:由可编程控制器PLC、温控仪、真空计、电压电流表、直流稳压电源、空开、接触器、继电器、按钮、指示灯等组成,以实现供电、控制、记录、监视、报警保护功能。

设备主要特点

该设备的结构设计合理,炉体采用全不锈钢制造,表面抛光或拉丝处理,美观大方;电气元件均采用国内外品牌,全自动化程序控制,控制系统软件由我公司自行开发,人机界面操作系统,画面友好,操作简单,相应速度快,可对炉内工况进行实时监测,系统稳定可靠

技术参数

产品型号
SWSL-2100/14

设备形式
立式上开门

加热形式
钨网电阻加热

加热功率
40KW+ 10%

工作区尺寸
φ140x150mm (直径x高)

极限温度
2200°C

常用温度
2000°C以此温度为验收标准)

温场均匀度
s+5°C .

极限真空度
6.67x10-4Pa (空炉、冷态、经净化)

控温精度
+1C

压升率
s1.0Pa/h

控温仪表
PID程序控温仪

测温方式
钨铼热电偶和双比色红外测温仪(自动切换)

控制方式.
手动/PLC自动联锁保护控制

保护气氛
氩气或高纯氮气,励s0.03MPa (可调)

设备配置清单
1、炉体

2、电气控制柜

3、真空系统

4、工业冷水机

5.石墨模具

6、使用说明书

SLWS2200-30