Bruker NPFLEX白光干涉仪
产品简介
详细信息
【产品简介】
NPFlex 三维表面测量系统基于白光干涉原理，为精密机械加工领域大样品表面表征测量提供了适合的解决方案，开放式的龙门设计提供了更大测量空间，克服了以往某些零件由于角度或取向造成的测量困难。NPFlex 为用户提供比接触式方法所能得到的更多数据量、更高分辨率和更好的重复性，使它成为精密机械加工领域优异的测量方案可广泛用于医疗植入，航空航天、汽车或精密加工上的大型、异型工件的测量。
【主要应用】
1、 用于较大范围的样品表面形貌、粗糙度、三维轮廓等特性的快速测量；
2、 广泛应用于半导体材料表面粗糙度、陶瓷基板的翘曲度、激光刻蚀痕迹、BUMP 三维结构、MEMS 器件关键尺寸、TSV 孔尺寸和精密机械加工部件等领域的测量。
【主要参数】
| RMS 重复性 | 0.004 nm |
| 垂直分辨率 | 0.1nm |
| 样品尺寸 | H: 249mm D: 304mm W: 304mm |
| 样品台承载 | 50kg |
| 横向取样间隔 | 0.1µm 至 13.2µm ( 由配备的 FOV 目镜和干涉物镜倍数决定 ) |
| 光学横向分辨率 | 350nm |
| 台阶测试精度 | 0.75% |
| 台阶重复性 | <0.1% 1σ |
| 倾斜调整 | 手动 ± 45° / 自动调节 ± 6° |
| 垂直扫描速度 | 96um / 秒，用户可自行设定 |
| 认证标准 | CE, NRTL, T-Mark, ROHS，ANSI B46.1 |