hy000502 PI P-726重量较大物镜扫描台（Z轴）
产品简介
详细信息
P-726 PIFOC大负载物镜扫描台（Z轴）
刚度较高，专用于重量较大的物镜
性能：
重量较大的物镜的高动态定位、扫描
210g负载下，560Hz振动频率
物镜扫描定位，亚纳米精度，毫秒级响应时间
扫描行程：100um，分辨率0.3nm
采用电容传感器直接测量，线性度
无回差柔性铰链并联导向结构，物镜补偿量较小，具有超高聚焦稳定性
参数：
尺寸：60*50.7mm
重复精度：±3nm
目镜直径：M-32
推拉力：100/50N
闭环行程：100um
无负载下自振频率：1120Hz
传感器：电容传感器
刚度：3.4N/um
闭环分辨率：0.4nm
串扰（X,Y）:50nm
线性度：0.02%
应用：3D成像
拍摄
显微技术
自聚焦系统
共聚焦显微系统
表面分析
晶片光刻检验