ZeGage plus 白光干涉仪ZeGageplus 光学轮廓仪
产品简介
详细信息
系统参数：
◆原理非接触、三维白光扫描干涉仪
◆扫描装置: 长范围 Z 轴调节
◆物镜: 1X - 50X 放大：标准工作距离2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x；长工作距离：1x, 2x, 5x, 10x,详见物镜参数表
◆视场: 跟所选物镜有关
◆光源: 长寿命白光 LED，计算机控制光强
◆物镜安装：直接螺纹安装（标配）；单物镜楔形座安装（选配）；手动或电控 4 位物镜塔台（选配）
◆辅助聚焦: 软件控制辅助聚焦
◆测量阵列: 1024×1024，512×512,256×256,1024×160
◆样件观察: Mx 软件集成实时观察
◆Z 轴: 100mm 行程，主机头具有两种可选安装高度，以优化工作距离
◆样品台控制: USB 控制器
◆安全性: 系统集成紧急制动功能
◆样品台: 手动,俯仰倾斜±4°，集成 T 型槽板利于固定附件（标配） 手动型：XY 平移 50 x 100 mm（-01，-11）；电动型：
XY 平移 100 x 100 mm（-02，-12）
◆计算机: i5 级别 PC，23 寸显示器 1080p
◆软件: ZYGO Mx 软件，Windows7（64 位）
◆尺寸（HWD）: 系统：156×127×76cm; 工作桌：74x127x76cm; ZeGage 主机：82x53x53cm
◆重量: ZeGage Plus主机：54Kg; 工作台：37Kg
性能：
◆纵向扫描范围：≤ 20 mm，(受限于物镜工作距离)
◆表面形貌重复性：＜0.15nm
◆光学分辨率（横向）：0.52um （50x 物镜）
◆空间采样： 0.17um（50x 物镜）
◆扫描速度： ≤ 73 um/秒
◆台阶高度重复性：≤0.3%@1σ
◆台阶精度： ≤ 3%
被测样品特性：
◆材料： 各种材料的表面：透明，不透明，镀膜，非镀膜，反射，弱反射
◆尺寸（HWD）：87 x 100 x 100mm 标准主机头位置；147 x 100 x 100mm 主机头加高采用局部覆盖放置可以测试更大的样品
◆反射率：0.05%-99%
环境要求：
◆温度： 15-30℃ ＜1.0°C/15 分钟
◆湿度： 相对湿度 5%-95%，无凝结
◆隔振： 包含隔振，要求隔离 1-120Hz 振动
◆振动准则： VC-C 或有更好的推荐