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适用加工范围

可对厚度≤100μm的大多数金属材料(包括不锈钢、钛、钨、铜等) 进 行圆孔切割，切割圆孔最小直径25μm。

加工精度

圆孔圆度优于98%@直径200μm

圆孔直径误差：＜3%@直径200μm

皮秒激光器

技术参数如下：

1)中心波长： 1064nm

2)波长范围：±1nm

3)平均功率： ~2W

4)脉冲宽度： ~270ps

5)冷却方式：风冷

（选择皮秒激光器的优点：皮秒激光器激光波长1064nm，能量比较高比较集中，脉冲非持续照射，垫片打出的孔很均匀，而且可以很好的保护垫片，因为高温灼烧对孔影响很大，市面上其他激光打孔设备采用的是紫外激光器/绿光激光器，波长355/532nm，通常打完孔后，对孔周围的垫片损伤比较大，垫片灼烧部分会变得很脆，承压效果会变差，影响高压实验。）

运动控制部分

系统的运动控制部分包括X、Y、Z、θ、辅X、辅Y及电动控制系统和驱 动，具体参数如下：

1) X轴行程： 101mm ，Y轴行程： 101mm

2) Z轴行程： 50mm

3) X、Y、Z轴重复定位精度： ~4 μm 4)θ轴偏心率： ~4 μm 5)θ轴转速： 600r/min

6)辅X和辅Y行程： 10mm