3D表面轮廓仪/白光干涉仪
产品简介
详细信息
技术规格 Technical specifications
型号 | W1 | W2 | |||
光源 | 白光LED | 白光LED | |||
标配影像系统 | 1024×1024(2048×2048可选) | 1024×1024(2048×2048可选) | |||
标配干涉物镜 | 10×(2.5×,5×,20×,50×,100×可选) | 10×(2.5×,5×,20×,50×,100×可选) | |||
标配光学ZOOM | 1×,(0.5×、0.75×可选) | 1×,(0.5×、0.75×可选) | |||
标配视场 | 0.49*0.49mm | 0.49*0.49mm | |||
******视场 | 6*6mm | 6*6mm | |||
物镜塔台 | 3孔手动 | 3孔手动 | |||
XY位移平台 | 尺寸 | 320×200mm | 320×320mm | ||
移动范围 | 140×110mm | 200×200mm | |||
负载 | 10kg | 10kg | |||
控制方式 | 电动 | 电动 | |||
水平调整 | ±4°手动 | ±电°手动 | |||
Z轴聚焦 | 行程 | 100mm | 100mm | ||
控制方式 | 电动 | 电动 | |||
Z向扫描范围 | 10 mm | 10 mm | |||
Z向分辨率 | 0.1nm | 0.1nm | |||
可测样品反射率 | 0.5%~99% | 0.5%~99% | |||
粗糙度RMS重复性 | 0.005nm | 0.005nm | |||
台阶测量 | 准确度 | 重复性 | 准确度 | 重复性 | |
0.75% 1σ | 0.1% 1σ | 0.75% 1σ | 0.1% 1σ |