高灵敏度、低振级加速度传感器
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近年来随着航空、航天等各种工程技术的发展，越来越多的场合需要取得准确地动态数据，其中振动、冲击、压力、声强等参数的测量占有重要的地位。各种传感器、信号适调仪、分析、记录、处理仪器就是为了满足这种要求而发展起来的，其中传感器是获得准确、真实数据的一关；将所需测量的物理量转换为便于测量的物理量是使用传感器的目的。
在传感技术的发展过程中，敏感元件的制作技术起着决定的作用，正是由于各种铁电材料的研制成功，高质量硅应变敏感元件、电容敏感元件的研制成功，硅片微细加工技术的成功，才使得有可能制成各种质量高的新型压力传感器。