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　　MFC-E系列紧凑型质量流量控制器 (Mass Flow Controll e r)是 一 款 专 为 气 体 分 析 仪 、质 谱 仪 、配 气 仪 等 行 业 所 开 发 的 一 款 高 精 度 、低 温 漂 、高 可 靠 性 的 气 体 质 量 流 量 控 制 器 产 品 。该 产 品 配 备 有 高 精 度 流 量 传 感 器 、进 电 磁 比 例 阀 、3 1 6 L 不 锈 钢 气 路 座 等，具 有 精 度 高 、响 应 速 度 快 、稳 定 性 好 等 优 点 。操 作 使 用 方 便，可 广 泛 用 于 。输 出 和 控 制 信号包括：0-5V模拟信号和RS485数字通信方式 。
 

　　紧凑型质量流量控制器 产品应用于：半导体加工、分析和环保、燃烧控制器、真空技术、表面处理、食品和制药、化工(石化)等过程控制、气体混合配比
 

　　紧凑型质量流量控制器产品特点：
 

　　温度和压力不敏感
 

　　设计劲凑，可安装任意位置
 

　　超快的响应速度
 

　　良好的重复性和再现性
 

　　可模拟采集、控制或数字采集、控制