百分零部件网

MEMS微型皮拉尼真空传感器具有更高的精度、可重复性和更低功耗。
传统的皮拉尼真空传感器使用热线或热敏电阻，通过监测热线或热敏电阻在真空环境中的热传递来测量真空。POSIFA通过将皮拉尼传感器的所有部件微加工成单一的集成微结构，改变了使用热导率测量真空压力的方式。由此产生的微型皮拉尼真空传感器具有更高精度、可重复性、测量范围和更低功耗，允许工程师设计出比以往设备大大缩小的真空测量产品和应用。POSIFA的传感器采用的CMOS半导体工艺，具有的性能和可扩展性，在确保高品质的同时，实现了较低的生产成本。