进口电动高真空蝶阀
产品简介
详细信息
进口电动高真空蝶阀的说明如下：
一、产品概述
进口电动高真空蝶阀是一种专为真空系统设计的高性能阀门，通过电动执行机构驱动阀杆与阀板执行启闭动作，从而实现对真空管路中气流的接通、切断或流量调节。该产品主要适用于需要高真空度控制的工业领域，如半导体制造、真空镀膜、科研实验等。
二、产品特点
高真空性能：
适用于高真空环境，能够满足105～6.7×10-4 Pa的真空度要求。
阀体采用特殊设计，确保在真空状态下具有良好的密封性能，泄漏量极低。
电动驱动：
通过电动执行机构驱动阀杆与阀板，实现阀门的快速响应和精确控制。
可通过外接电源的切换（如手动转位开关或电脑控制）或外部输入信号，实现阀门的开启、关闭或中间位置的控制。
结构紧凑：
阀门设计紧凑，占用空间小，方便安装于各种真空管道系统中。
材料优良：
阀体、阀板等主要部件采用高强度、耐腐蚀的材料制成，如不锈钢等，确保阀门在长期使用过程中的稳定性和可靠性。
适用范围广：
适用于纯净空气和非腐蚀性气体作为介质，广泛应用于半导体制造、真空镀膜、科研实验等领域。
三、技术参数
公称通径：DN50～DN400（具体范围可能因型号而异）
连接尺寸：符合相关标准，如A26～A510、ΦD110～ΦD510等
漏气率：6.7×10^-4 Pa·L/s（具体值可能因型号而异）
电磁阀电压：220V/50Hz（或其他规格，根据具体需求选择）
气源压力：0.4～0.6 MPa
介质温度：丁腈橡胶-25℃～+80℃，氟橡胶-30℃～+150℃
主要件材质：阀体、阀板采用碳钢（镀镍）或不锈钢，密封件采用丁腈橡胶或氟橡胶
四、应用领域
半导体制造：用于控制真空系统中的气体流量，确保半导体生产过程中的洁净度和稳定性。
真空镀膜：在真空镀膜过程中，用于控制镀膜室的气压和气体流量，确保镀膜质量和效率。
科研实验：在需要高真空环境的科研实验中，用于控制实验设备中的气体流量和压力。
五、安装与维护
安装前请仔细阅读安装说明书，确保阀门与管道系统正确连接。
定期检查阀门的运行状况，如有异常应及时处理。
定期对阀门进行清洁和维护，保持其良好的工作状态。