NE-PE05 5L小型真空等离子表面处理机
产品简介
详细信息
小型等离子表面处理机可应用于多种材料，包括金属、陶瓷、复合材料、塑料、聚合物和生物材料表面处理。包括材料表面清洁、表面活化、表面能改变、用于粘合和粘附的表面制备、表面化学改性，以及通过活化对聚合物和生物材料进行表面处理、接枝和表面涂层。
小型等离子表面处理机的工作原理是在真空状态下,压力越来越小,分子间间距越来越大,分子间力越来越小,利用射频源产生的高压交变电场将氧、氩、氢等工艺气体震荡成具有高反应活性或高能量的离子,然后与材料表面发生反应,通过等离子体表面处理，材料表面发生多种物理、化学变化，使材料表面清沽、活化，改善材料表面的亲水性、枯结性，电性能等。
●产品体积小，精度高，实用，操作简单，容易维护。
●宽泛的参数调节范围，可以使用多种工艺气体，实现范围的参数选择。
●采用优化的集成PLC工艺控制系统，特别适合研发和小批量生产领域的需求。
●内置两路气路，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪
●软件、操作简易，智能化设计，避免误操作
●采用数字显示压力，实时观察腔体压力变化情况
●中英文操作系统，触摸屏控制，人机界面友好 电流、电压实时监测，确保仪器稳定安全运行
●处理时长可在触摸屏设置，等离子处理时间精确到秒（s）
●处理功率30-99%无极可调
●316不锈钢腔体，低温，不损伤样品，腔体内温度小于60°
●引线键合和封装前的集成电路芯片清洗。
●用于去除碳氢化合物污染物的 TEM 和 SEM 样品。
●等离子表面处理亲水或疏水表面润湿性。
●表面处理以提高环氧树脂/胶水的粘合强度。
●用于光学、激光和通信的玻璃和光纤头清洁。
●提高 MEMS 微流体器件的润湿性。
●图案化后的光刻胶灰化和除渣。
等离子体表面处理是利用非聚合性无机气体，如Ar、N2、H2、O2等气体的辉光放电产生的等离子体对材料表面进行修饰与改性的新技术。
小型等离子表面处理机原理：
小型等离子表面处理机的工作原理是在真空状态下,压力越来越小,分子间间距越来越大,分子间力越来越小,利用射频源产生的高压交变电场将氧、氩、氢等工艺气体震荡成具有高反应活性或高能量的离子,然后与材料表面发生反应,通过等离子体表面处理，材料表面发生多种物理、化学变化，使材料表面清沽、活化，改善材料表面的亲水性、枯结性，电性能等。
小型等离子表面处理机产品特点：
●产品体积小，精度高，实用，操作简单，容易维护。
●宽泛的参数调节范围，可以使用多种工艺气体，实现范围的参数选择。
●采用优化的集成PLC工艺控制系统，特别适合研发和小批量生产领域的需求。
●内置两路气路，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪
●软件、操作简易，智能化设计，避免误操作
●采用数字显示压力，实时观察腔体压力变化情况
●中英文操作系统，触摸屏控制，人机界面友好 电流、电压实时监测，确保仪器稳定安全运行
●处理时长可在触摸屏设置，等离子处理时间精确到秒（s）
●处理功率30-99%无极可调
●316不锈钢腔体，低温，不损伤样品，腔体内温度小于60°
小型等离子表面处理机产品应用：
●引线键合和封装前的集成电路芯片清洗。
●用于去除碳氢化合物污染物的 TEM 和 SEM 样品。
●等离子表面处理亲水或疏水表面润湿性。
●表面处理以提高环氧树脂/胶水的粘合强度。
●用于光学、激光和通信的玻璃和光纤头清洁。
●提高 MEMS 微流体器件的润湿性。
●图案化后的光刻胶灰化和除渣。
等离子体表面处理是利用非聚合性无机气体，如Ar、N2、H2、O2等气体的辉光放电产生的等离子体对材料表面进行修饰与改性的新技术。
| 序号 | 项目 | 型号规格 | 参数 |
| 1 | 等离子发生器 | 功率 | 0-300W可调 |
| 抗辐射干扰高频匹配器 | 自动阻抗匹配，远程通信控制 | ||
| 频率 | 40KHz/13.56MHz | ||
| 2 | 真空反应腔室 | 腔体材质 | 进口 316 不锈钢，级密封 |
| 腔体容积 | 5L | ||
| 电极数量 | 1 个镀金铝合金专用电极+1 个不锈钢 托盘 | ||
| 腔体直径（圆形） | 150（W）×280（D）mm | ||
| 有效处理范围 | 130（W）*245(D)mm | ||
| 绝缘陶瓷 | 进口高频陶瓷 | ||
| 3 | 气路控制 | 气体流量控制器 | 浮子针阀流量控制器， 0-500ML |
| 气路数量 | 2 路气体通道，支持氧气氩气等 | ||
| 4 | 整机参数 | 整机功率 | 1000W |
| 外形尺寸 | 长*宽*高 ： 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H) |