SMC chiller温控器冰水机HRS090维修服务
产品简介
详细信息
SMC chiller温控器冰水机HRS090维修服务
半导体专用温控装置（Chiller）主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置，属于生产过程中的温控设备。
SMC chiller温控器冰水机HRS090维修服务
应用于半导体行业蚀刻装置，CMP（工艺机械抛光）， 实验室精密装置、 高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。
变频控制，智能PID控制
预测控制及自适应控制
模块化功能定制，高效节能
两级闭环节能控制
SMC chiller温控器冰水机HRS090维修服务 应用领域
激光加工、印刷设备、清洁设备、焊接设备、高分析仪、LCD制造设备、模具温调、高频感应加热设备、X射线（数字式）设备等
SMC chiller温控器冰水机HRS090维修服务
zonglen半导体器件高低温测试设备chiller
温度范围：-20°C~+90°C
控温精度：±0.1℃
触摸屏操作，人机交互界面
连锁控制、可靠性高
定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能
温度波动小