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直流叠加单极性正向脉冲偏压电...

供应商：
兰州精新电源设备有限公司
企业类型：
其他

产品简介

直流叠加单极性正向脉冲偏压电源特点：直流叠加单极性正向脉冲偏压电源

详细信息


直流叠加单极性正向脉冲偏压电源
特点：直流叠加单极性正向脉冲偏压电源，实际上将直流偏压电源与单极性正向脉冲偏压电源串联，进行有机的结合，作用是通过调节直流输出电压和脉冲电压实现直流、                                                        单极脉冲和直流叠加脉冲三种偏压模式。配合脉冲频率和占空比调节，可控制成膜温度，增加膜基结合力，提高沉积速率。本电源特别适用于低温速沉积和高品质镀膜系统。由其是在镀制非导电介质膜时，采用高频直流叠加脉冲电源可替代传统的射频电源，是非常有发展前途工艺途径。

技术指标：
1.      交流输入：三相380VAC
2.      功率因数：≥0.99
3.      效    率：≥86%
4.      输出波形：直流、单极性正向脉冲、直流叠加脉冲
5.      输出电流：0～320A  分10种规格：1KW、2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、          
70KW、100KW、200KW
6.      输出电压：直流0～1200V，脉冲0～1200V
7.      输出频率：1KHz～200KHz（其它厂家只能做到40KHz）
8.      脉冲占空比：5～90%独立连续可调
9.      工作方式：恒流、恒压、恒功率任选
10.  稳压精度：≤1%
11.  环境温度：-10℃～40℃
12.  冷却方式：风冷、水冷
供货周期： 10天～3个月