本设备为高精度型流量计。
这是一款面积式流量计，通过自主研发的精密成型玻璃管和超精密球浮标，确保微小流量到中等流量范围内的高精度，将“以流量计为标准”这一普遍的概念推向“精密仪器”领域。
- 可实现超微小流量范围内的测量
- 可实现高精度测量
- 种类丰富
用途
- 用于整合设备
- 用于实验室的流量检查
- 用于半导体相关设备
- 用于生物领域
使用示例
尺寸图
标准规格
| 气体 | 流体 | ||
|---|---|---|---|
| 流体名称 | Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（实际气体校准） 其他气体转换校准，实际气体校准单独咨询 ※选项：2种流体刻度 | 标准液体（H2O） 其他液体转换校准 （但是，会产生与实际液体的误差。） | |
| 流量范围 | 0.5～5ML/MIN到1～100L/MIN（参见容量列表） ※可选：0.5～3ML/MIN
| 0.5～5ML/MIN到0.2～2L/MIN（参见容量列表） ※可选：0.5～3ML/MIN | |
| 精度 | FS±2％（测量点）※可选：FS±1％（测量点） | FS±2％（测量点） | |
| 耐压 | 100ML/MIN以下：1.0MPa 5L/MIN以下：0.7MPa 10L/MIN以上：0.5MPa | 5ML/MIN以下：1.0MPa 150ML/MIN以下：0.7MPa 200ML/MIN以上：0.5MPa | |
| 有效刻度 | 10：1 ※可选 20：1 | ||
| 材质 | SS制 | BS制 | |
|---|---|---|---|
| 主体区块 | SUS316 | 黄铜 | |
| 锥形管 | 硬玻璃 | ||
| 密封材料 | 氟橡胶 | NBR | |
| 浮标 | 硬质玻璃，SUS316 | ||
| 保护罩 | 丙烯 | ||
| 使用温度 | 60℃ | ||
| 连接端口 | 1 / 4F 900（标准） | ||
容量列表
可选规格
- F.S. ±1％（计量点）
- 0.5～3ML/MIN Air（大气压）规格
注）全长为120mm的情况。 - 全氟醚橡胶0型圈规格
注）气体1L/MIN以下无过滤器。 - 双刻度规格
- 20：1刻度规格