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1

机台整机规格

2000(W)×1500(D)×1960(H)  mm

2

真空室规格

1030(W)×1100（D)×1070(H) mm 

3

电极板规格

17层平板式电极板（944W×790 D mm  (28W ×24D in)）

4

控制系统

PC工控系统+PLC自动控制

5

真空测定系统

皮拉尼电阻式真空计

6

气体计量系统

精确质量流量控制计 MFC

7

气体路数

2—5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2

8

等离子发生器

10KW等离子体发生源（40KHz，可选13.56MHz）

9

工作气体

2路工作气体可选：Ar2、N2、H2、O2

特 点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。

用 途：适用于摄像头及行业，手机制造、半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。

1、印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污，软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。

2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗；

3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。