ALICAT 流量控制器21S耐腐蚀型
产品简介
详细信息
应用及案例
● 大学/研究所 ● 汽车制造
● 环境监测 ● 计量校准
● 真空行业及镀膜 ● 过程工艺气体测量
● 工业炉窑
产品特色
● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制，如体积流量、质量流量和压力
● 可选高精度：优于0.5%
● 可测范围广， 1~99%
● 响应时间快，优于100 ms
● 内置130种常规及腐蚀性气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
● 可适用于诸多腐蚀性气体