ALICAT质量流量控制器 21V系列带集成截止阀
产品简介
详细信息
应用及案例
● 大学/研究所
● 真空行业及镀膜
● 半导体
● 光伏
● 过程工艺气体测量
产品特色
数字化产品
带气动截止阀，泄漏率低
多参数显示和输出：温度、压力、流量等
多参数控制:体积流量、质量流量和压力
标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板
可选高精度：可优于0.5%
量程比 200:1
响应时间快 仅需100ms(可调)
内置98种气体
现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气