SEC-N112 数字式质量流量控制器
产品简介
详细信息
概要
基于多年来技术产品的市场发展经验，我们提供了一系列满足客户需求的质量流量计产品。
气体被广泛地运用于各种工业领域，从太阳能电池、燃料电池的研究和制造，这一获得巨大关注的再生能源项目得到了各地的支持；到半导体、液晶面板和在电子行业中使用的发光二极管（LED）的研究和制造。在这些制造工艺中，对各种气体的流量进行准确的测量和控制显著地提高了工作效率，进而节约了能源和提高了生产力。HORIBA STEC致力于质量流量计的发展，为的制造工艺，包括半导体、光电和LED的制造提供服务，并将继续开发新的产品来满足客户的需求。
型号
| 10sccm | 10SLM | 20SLM | 100SLM | 200SLM |
| SEC-N102 | SEC-N112 | SEC-N122 | SEC-N132 | SEC-N142 |
| SEC-N104 | SEC-N114 | SEC-N124 | SEC-N134 | SEC-N144 |
| SEC-N106 | SEC-N116 | SEC-N126 | SEC-N136 | SEC-N146 |
特征
HORIBA STEC可以提供满足您需求的全套产品。
| 型号 | 选择信号传输模式 | 选择电源 |
| SEC-N102 系列 | 数字式信号传输 ▶RS485 F-NET协议 模拟式信号传输 ▶0～5VDC | ±15VDC (±5%) HORIBA STEC’S 可以提供PE系列的电源产品。 |
| SEC-N104 系列 | DeviceNet 信号传输 | 遵照ODVA标准 |
| SEC-N106 系列 | PROFIBUS 信号传输 模拟式信号传输 ▶0 至 5VDC, 0 至 10VDC 4 至 20mA | 遵照PROFIBUS标准 |
此型号适合各种小流量到大流量的需要。
流量控制范围为标定满量程的2～99%
高精度
■高精度（设定点为基准）MFC的线性度将由近似多项式曲线进行补偿。这帮助实现了对所有流量控制范围的高精度控制。为了实际气体流量的准确性进一步提高，各种工艺气体的校准数据将按照HORIBA STEC标准的气体测量系统进行校验。
整个流量控制范围内都可实现高响应速度
■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response的可变PID运算法则：1秒高速响应 SEC-N100 系列搭载了开发的“可变PID系统”，对于所有设置点它可以实现1秒内的高响应速度。当您改变标定满量程和气体种类时，可变PID将根据当下的设定点不断变化，其PID参数也将随之被优化。
多气体、多量程的解决方案
■专用的软件赋予用户可以自由更改规格的能力 的多气体、多量程系统使用户自由变更气体种类和量程成为可能。
致力于成本考量，运用新的设计概念
作为N100系列的替代，HORIBA STEC也可以提供具备超洁净处理以及压电陶瓷阀门的Z500系列产品。请注意，在没有通知的情况下，可能会对某些需要提高生产率的部件和产品工艺做出修改，但不会牵涉到改变产品的规格。