TKSCT气体过滤器系列有:
哈式合金气体过滤器
不锈钢气体过滤器
PTFE气体过滤器
IGS气体过滤器
陶瓷气体过滤器
材质结构
超高纯在线式过滤器 ■哈式合金气体过滤器全哈氏合金结构 ■ 高温及动态压力测试 ■ 不锈钢气体过滤器全316L不锈钢结构 ■ 尺寸紧凑，可变的末端连接 ■ PTFE气体过滤器滤芯为PTFE材质,本体材质为316L，内部电解抛光 ■ IGS气体过滤器具有高可靠性耐冲击和震动 ■陶瓷气体过滤器内部为316L 电解抛光处理 广泛应用于化学品行业
产品特性
? 流量大，12-800SLPM
? 受腐蚀的部位采用哈氏合金，适用于惰性气体及腐蚀性强的气体
? 的性能满足大多数半导体工艺气体
? PTFE材料具备良好的抗腐蚀性能及兼容性
? 过滤等级为0.0025μm，即使在高流速的情况下，也不会引起出口端压力的下降
? 内部抛光等级为5Ra，防止其内部污染
? 通过高温氮气及去离子水清洁，满足半导体行业的标准
? 清洁及包装在100级洁净室内
? 100%氦气检测
