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佛山市所在地
| | XCTG-5+1 | XCTG-6～9+2 |
| 镀膜室规格 | ∮700～800mm×800～880mm | ∮900～1000mm×1000～1200mm |
| 极限真空度 | ≤7.6×10-4Pa | |
| 冷态抽真空时间 | 从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟 | |
| 机组配置 | KT-400扩散泵机组 | KT-400/ KT-500扩散泵机组 |
| 靶配置 | 5个电弧靶1个磁控靶 | 6-9个电弧靶2个磁控靶 |
| 配电要求 | KW | KW |
| 设备用途 | 适用于各类工具镀镀膜要求，可镀制DLC、TiN、TiCn、CrN、AlTiN、CrAlTiN等功能膜层 | |
| 备注 | 可根据用户产品、产量、膜层特殊要求设计制造非标设备。可加装磁控靶、中频孪生对靶等。 | |
