品牌
生产厂家厂商性质
佛山市所在地
机型\项目 | TG5 | TG6-9 | |
镀膜室规格 | ?700mm -800mm *800mm -880mm | ?900mm -1000mm *1000mm -1200mm | |
极限真空度 | ≤7.6×10-4Pa | ||
冷态抽真空时间 | 从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟 | ||
机组配置 | KT-400扩散泵机组 | KT-400扩散泵机组 或KT-500扩散泵机组 | KT-600扩散泵机组 |
靶配置 | 5个电弧靶1个磁控靶 | 6-9个电弧靶2个磁控靶 | 2个大面积弧靶2对孪生靶 |
配电要求 | 40KW | 50KW | 60KW |
备注 | 可根据用户产品、产量、膜层特殊要求设计制造非标设备 |