机型\项目

TG—10-12

TG—14-16

TG—20-24

TG—26-30

TG—32-36

TG—36-40

镀膜室规格   

?

1300-1600*1500-1750mm

?

1400-1600*1600-2200mm

?

1500-1600*3500mm

?

1800-1900*3600mm

?

2000-2300*3600mm

?

2300-3000*3000-3600mm

极限真空度   

≤7.6×10-4Pa

冷态抽真空时间

从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟   

机组配置   

KT-600扩散泵机组

KT-630扩散泵机组

KT-800扩散泵机组

2套KT-800扩散泵机组

2套KT-1000扩散泵机组

2套KT-1000扩散泵机组

蒸发源配置

10

12

20

24   

32   

40   

配电要求   

60KW

80KW

120KW

160KW

180KW

230KW

厂房要求

一层总高6.5米

一层总高6.5米

一层总高6.5米

二层总高9.2米

二层总高9.5米

一层400平方米