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1、派瑞林真空镀膜材料的方法:
(1)真空蒸发:清洁待涂覆的基材,并将其放入涂覆室中。抽空后,将薄膜加热到高温,使蒸汽达到13.3帕左右,使蒸汽分子飞向衬底表面,凝结成薄膜。
(2)阴极溅射镀膜:将待镀膜基片对着阴极放置,向真空室通入惰性气体(如氩气),保持压力在1.33~13.3帕左右,然后将阴极与2000伏DC电源连接,然后激发辉光放电。带正电荷的氩离子撞击阴极发射原子,溅射的原子通过惰性气氛沉积在衬底上形成薄膜。
(3)化学气相沉积:通过选定的金属化合物或有机化合物的热分解获得沉积薄膜的过程。
(4)离子镀:本质上,离子镀是真空蒸发和阴极溅射的有机结合,兼具两者的工艺特点。