无油螺杆真空泵传动轴连接主动转子，通过同步齿轮带动从动转子旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。

 无油螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似，一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，目前通用的是直连电机，用联轴器与转子连接，极少数用皮带或者传动链传动。

等螺距螺杆泵由于无内压缩过程，排气温度非常高，如冷却效果不好，会造成转子和机壳变形，影响抽气效果。冷却机壳是重要的一个环节，水冷是普遍常见的方法，在机壳本体、轴承外侧通冷却水，可以达到冷却壳体进而冷却转子的目的。

无油螺杆真空泵需配置的安全阀：一直以来无油螺杆真空泵为防止因过载而造成损坏，通常用在泵上配置安全阀或在出口管道上安装安全阀措施。

无油螺杆真空泵是泵的一个重要特点，在一定强度范围内的情况下，排放压力取决于它的背压。因此，当无油螺杆真空泵运行时，一旦排除管路堵塞或故障打开卸料阀等原因时，排放压力会急剧上升，造成泵的过载损坏。

无油螺杆真空泵配置的安全阀可以使排气压力超过规定值时，安全阀在排出压力的作用下，打开安全阀，介质就回流至泵的进口端，使排气压力下降，避免排气压力进一步增加，保护螺纹不被破坏。

广西螺杆真空泵-珂勒曦螺杆真空泵，单极突破0.1pa极限真空，可长时间运行，并且针对国内高温差、高湿度、高粉尘环境做了针对性优化，更适应国内的各类工况环境，实际应用实现更低故障率，更低能耗，更高能效。广泛应用于电子光伏、包装行业、真空模拟、风洞实验和造纸与印刷等各种生产行业。