环保型真空泵螺杆泵氦质谱检漏的累积法环保型真空泵螺杆泵氦质谱检漏的累积法

采用氦质谱检漏法的过程中，如果因为漏率不大的关系，螺杆真空泵厂家前面介绍的吸枪法等不能满足要求时，另一种方法就出现了，那就是累积法。
累积法的检漏灵敏度很高，正确使用时，可以高出仪器灵敏度两个数量级。因此在氦质谱检漏方法中很适合用于漏气率和出气率都不大的被检的检漏。累积法中的几种形式主要包括氦升压累积法、氦罩峰值累积法与吸嘴峰值累积法。
氦升压累计法中，将被检件抽真空后，关闭抽速控制阀门；氦罩中的氦通过漏孔进入质谱室并逐渐累积，使氦分压不断增高，从而提高检漏灵敏度。被检件的漏率通过对累积时间、累积时间内的检漏仪输出值变化以及抽速阀至被检件的系统容积、检漏仪的分压灵敏度的计算获得。
氦罩峰值累积法与氦升压累积法类似，不过在质谱室与被检件之间增加了一个快速阀。抽真空后连带快速阀也关闭，氦罩中泄漏到被检件的氦气会先在被检件中累积，待累积到一定时间后，再开启快速阀，这时流入检漏仪质谱室的氦显著增多，从而提高检漏灵敏度。它的终漏率计算与氦升压累积法不同，涉及3个参数，包括峰值法的检漏仪刻度、检漏仪输出的大变化量以及累积时间。
吸嘴峰值累积法中，在累积时间内，氦气通过漏孔流入到氦罩或者说检漏盒中，不断积累。随后打开吸嘴阀，这时有较高分压的氦气会通过吸嘴流入检漏仪，提高了检漏灵敏度。吸嘴峰值累积法可以通过标准漏孔比较法来计算终漏率，涉及参数包括标准漏孔的标称漏率以及相同检测条件下被检件与标准漏孔的检漏仪输出峰值变化量。
无论是采用哪种累积法，检漏仪的工作状态都要保持稳定，防止仪器噪声和工作压力的变化，同时在检漏系统中少用或不用容易吸氦的橡胶、油脂、塑料等材料。在累积时间上，要保证检漏仪能够获得明显的信号输出，对于一些具有渗氦性的材料，又要避免时间不能过长。
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