真空镀膜系统
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具体成交价以合同协议为准
2018-03-26 16:57:18
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真空镀膜系统*普诺克真空科技,自设大型工厂生产,自有设计队伍,多年专注真空泵,真空系统选择东莞市普诺克真空科技有限公司,绿色低能耗,超省电!欢迎前来洽谈订购!

详细介绍

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真空系统存在的泵的名词解释:
主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片泵或滑阀泵就是前级泵。

粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。

维持泵:在真空系统中,气量很小时,不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作,此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵,就是维持泵。

事实上简单的真空系统只是能获得一个粗真空,而想要获得高真空时,通常在真空系统中串联一个高真空泵,比如罗茨泵和螺杆泵等都是获得高真空的泵。当串联一个高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门,以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵,为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器,通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板。根据要求,还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀,散热器等等,这样就构成了一个较完善的高真空系统。

真空镀膜系统型号:PNK100(1 x RH0100)
抽速:100m3/h
极限压力:0.1(15)mbar
缓冲罐体:100L
电机功率:3.0Kw
尺寸:1100×425×900mm
真空抽气接口尺寸数量:12×6

典型应用:
1.粗真空应用:- 真空搬运- 真空装卸/吊装 - 脱气 - 自动化(真空吸持)
2.汽车工业 - 热成型 - 充填,脱气
3.复合材料制造 - 树脂传递模塑 (RTM)
4.真空压制,如橡胶,塑料,垫圈
5.食品包装/食品加工 - 真空灌装 - 热成型 - 真空运输、装卸、吊装 - 托盘密封/气调保鲜包装 - 脱气
6.医院/医疗工程 - 细菌过滤器

降低真空系统漏气率的措施:
1.真空系统的结构
真空系统的结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键,真空系统的结构合理与否,将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。
(1)尽可能地避免出现小曲率半径的死角,要光滑过渡查刹于打麈抛光、清洗清扫。
(2)抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道,采用圆弧过渡,使气路畅通无阻,但要考虑清洗清扫的方便性。
(3)认真设计真空室内各种连接件的结构,使气路畅通,避免气路堵塞。
(4)打磨抛光真空系统内表面,表面越光亮就越不易气体吸附,越容易获得真空。
(5)尽可能减小真空室的体积,缩短管路系统。
2.密封形式的选择
密封形式可根据所需真空度的高低及实际工作需要选择密封形式,对于人工晶体生长设备,一般需要的真空度在lO-3Pa以下,因此,无需采用金属密封。以TDR--70型单晶炉为例,我们选择磁性流体密封作为旋转动密封,选择高精度大伸缩量的焊接波纹管进行移动密封,小直径轴的旋转密封选用“O”型密封圈或威尔逊密封,各种静密封则采用“0”型密封圈密封形式,直径压缩比为25%。
密封件材质的选用:真空度在lO-3Pa以下的真空系统,密封材料一般选择橡胶密封圈即可满足要求。但是,考虑到实际工作条件的需要(真空室内温度zui高可达2300℃,密封部位进行水冷后,其温度在80℃左右,个别处温度可达100℃以上)。所以,要选择比较理想的密封圈材料。
用于真空密封橡胶材料,除要求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外,还要求有低的渗透率和出气率,良好的耐热性耐油性,同时要有一定的强度、硬度和弹性等。
3.静密封结构的选择
各种真空系统中,80%以上的密封为静密封,静密封效果的好坏,对系统的真空度及漏气率有很大的影响。因此,要对静密封结构进行认真设计,以达到理想的效果。
对静密封结构的设计,主要考虑如何选择主要密封面、如何减小残留气体及如何充分发挥橡胶密封圈功能。
无论是矩形密封槽、燕尾型密封槽还是梯形密封槽,其槽底较小的粗糙度容易获得为主要密封面,而其侧面则较小的粗糙度往往不易获得。同时,为了消除残留气体,在存在残留气体处设计了贯通孔,使系统内部各处畅通无阻。

 

图片:

<strong><strong><strong>真空系统</strong></strong></strong>

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