卤素检漏仪是因为化学元素周期表里面有卤族元素周期系ⅦA族元素。包括氟（F）、氯（Cl）、溴（Br）、碘（I）、砹（At），简称卤素，通常所说的氟利昂含氟，检漏仪又对氟起反应，所以叫卤素检漏仪，精度应该到5×10-7~08Pa·m3/s吧。

有手持式和台式的。 氦质谱检漏仪是由离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计、还有分子泵等组成，氦气分子小，还比较活跃，属于惰性气体，不腐蚀设备，检漏效率高，氦气质谱检漏仪反应灵敏，精度高，可检测到5×10-12Pa·m3/s。一般为台式。

 通用是氦气和卤素都能检测么？有是有，得更换测试漏瓶。.

除非有特殊要求。 还有一种氢气检漏仪，是用95%氮气+5%氢气体混合作为介质的。精度结余卤素和氦气之间。