表面形貌仪常用技术有以下三种
时间:2022-03-11 阅读:122
使用优势:
表面形貌仪是一款高速的三维形貌仪,Zui高扫描速度可达1m/s,采用白光共聚焦技术,可实现对材料表面从纳米到毫米量级的粗糙度测试,具有测量精度高,速度快,重复性好的优点,该仪器可用于测量大尺寸样品或质检现场使用。
产品特性:
1、采用白光共聚焦色差技术,可获得纳米级的分辨率。
2、测量具有非破坏性,测量速度快,精确度高。
3、测量范围广,可测透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料。
4、尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面。
5、不受样品反射率的影响。
6、不受环境光的影响。
7、测量简单,样品无需特殊处理。
表面形貌仪常用技术:
1、扫描电子显微镜:扫描电子显微镜利用聚焦得非常细的电子束作为电子探针。当探针扫描被测表面时,二次电子从被测表面激发出来,二次电子的强度与被测表面形貌有关,因此利用探测器测出二次电子的强度,便可处理出被测表面的几何形貌。
2、机械探针式测量:探针式轮廓仪测量范围大,测量精度高,但它是一种点扫描测量,测量费时。机械探针式测量方法是开发较早、研究充分的一种表面轮廓测量方法。它利用机械探针接触被测表面,当探针沿被测表面移动时,被测表面的微观凹凸不平使探针上下移动,其移动量由与探针组合在一起的位移传感器测量,所测数据经适当的处理就得到了被测表面的轮廓。机械探针是接触式测量,易损伤被测表面。
3、光学探针式测量:光学探针式测量方法原理上类似于机械探针式测量方法,只不过探针是聚集光束。根据采用的光学原理不同,光学探针可分为几何光学原理型和物理光学原理型两种。几何光学探针利用像面共轭特性来检测表面形貌,,有共焦显微镜和离焦检测两种方法:物理光学探针利用干涉原理通过测量程差来检测表面形貌,有外差干涉和微分干涉两种方法。光学探针是非接触测量,,但需要一套高精度的调焦系统。