表面形貌仪能够在同一测试平台上运行多种测试，产品的组合可根据不同的技术应用要求而改变。针对样品的同一区域可进行不同模式的实验检测，模式切换可实现全自动化。多项技术的整合能够使不同技术在同一检测仪上充分发挥各自的优势。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提率。
 

　　表面形貌仪测量原理：

　　低相干白光同时照射样品和参考平面，被样品和参考平面反射的两束白光发生干涉后由阵列式CMOS探测器接收，由于探测器直接与信号处理芯片连接，所以阵列上每个像素点的信号都在芯片中完成锁相放大，背景信号补偿和结果计算输出，成像于计算机就实现了样品表面的快速三维形貌测量。
 

　　双模式三维表面形貌仪——共焦

　　可快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。

　　使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150X) 3D全视野3D镜头，用以表征坡度分析 (zui大斜率<干涉测量>: 72o vs 44o) 。

　　具有光学形貌上zui高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机， 空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的*配置。

　　在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制(0.1%- 100%)

　　应用于透明层/薄膜。

　　兼容亮视野&暗视野; 光学DIC。

　　长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。

　　*的稳定性。
 

　　表面形貌仪产品特性：

　　1、采用白光共聚焦色差技术，可获得纳米级的分辨率。

　　2、测量具有非破坏性，测量速度快，度高。

　　3、测量范围广，可测透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料。

　　4、尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面。

　　5、不受样品反射率的影响。

　　6、不受环境光的影响。

　　7、测量简单，样品无需特殊处理。

　　8、Z方向,测量范围大：为27mm。