捷太格特 (JTEKT) 一直致力于开发和生产在严酷环境下使用的特殊环境用轴承系列。

此次，捷太格特为解决半导体制造设备的维护修理、轴承单元化的推进等半导体制造相关的客户难题推出了此项提案。

※ EXSEV®是为了对应诸多环境和用途，使用了与通常不同的轴承材料和润滑剂的轴承系列，是捷太格特的注册商标。

背景概述

近年来，由于智能手机性能的提升、物联网技术和人工智能的发展以及自动驾驶的普及，半导体的需求也在迅速扩大。捷太格特收集了半导体制造设备用户的意见，把握轴承相关客户的困扰，除了销售产品，捷太格特还会为实现半导体设备的稳定运行和提高生产效率，将服务扩展到半导体制造设备的维修市场。

另外，捷太格特将轴承从单品销售到作为包含周边部件的单元来使用，对简化维护工作和延长维护周期做出了贡献。

半导体制造过程中的轴承使用环境

捷太格特开发了适用于在真空、净化、高温、腐蚀等恶劣环境下加工的特殊环境用轴承，目前已具备了满足客户需求的产品阵容。

<表1：半导体制造工序和主要轴承使用环境>

*注：适用商品例 (1) 到 (4) 请参照以下的商品群

EXSEV系列主要产品阵容

（1）EXSEV ®-EX (真空、净化用含氟类润滑脂的轴承以及润滑脂)

 【EXSEV ®-EX】【EXSEV ®-EX (润滑脂) 】

在制造半导体的真空、净化的环境下，需要在低蒸汽压力下化学反应稳定的氟润滑脂。捷太格特的产品有对环境负荷较小且不含全氟辛酸 (PFOA)的氟润滑脂，以及封入该氟润滑脂的低发尘轴承EXSEV ®-EX。

与现行品相比，它进一步降低了发尘量，具备优异性能的同时符合环境法规，为减轻半导体制造设备对环境的负荷做出了贡献。

<图1  发尘量比>

参考URL: .cn/news/product/1017.html

※图1：本公司对比

（2）NEW Clean Pro ®-PR (真空、净化用特殊氟固体润滑被膜轴承)

在高度净化环境中，使用涂有特殊氟高分子膜的新净化轴承。与现行品相比，释放气体相同、发尘量降低一半以上、发尘寿命※2 (图2) 为10倍以上，实现了轴承性能的大幅度提高，对提高制造装置可靠性以及运行成本的降低做出了贡献。

※2发尘寿命：一定时间内的发尘量超过清洁等级10 (ISO等级4) 为止的时间

参考URL:https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/sepr/

<图2 发尘寿命>

※NEW Clean Pro ®是株式会社捷太格特的注册商标。

（3）EXSEV ®-XT 

(高温用含氟润滑脂的轴承)

加入了能在350°C高温环境下使用的润滑脂的高耐热轴承。在300°C的温度里，捷太格特实现了比现行高温用固体润滑轴承高达6倍以上的轴承寿命(图3) 。通过在高温下延?使用寿命，对降低设备的维护成本做出了贡献。

<图3  烧结寿命比>

（4）耐腐蚀陶瓷轴承

在某些制造工序中，存在即使是不锈钢也无法应对的腐蚀性的环境。而在轨道轮和滚珠上使用陶瓷材料的耐腐蚀陶瓷轴承可以对应此种环境。捷太格特通过提供各种陶瓷轴承产品阵容以应对多种腐蚀环境，为提高半导体生产效率做出贡献。

<陶瓷轴承>

<图4  陶瓷的适用范围概念图>

*EXSEV ®轴承系列其他产品介绍：https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/

捷太格特的轴承事业品牌“Koyo”，以“Key of your operation”为理念，作为与客户共同解决问题、把喜悦提供给客户的合作伙伴，将为客户提供适应多种环境的轴承、为所有产业的可持续发展做出贡献。

（来源：捷太格特）